大宗特殊氣體供應系統
BULK-SPECIAL-GAS-SYSTEM
大宗特殊氣體供應系統
BSGS (Bulk Special Gas System)
巨茂應材的大宗特殊氣體供應系統，專門處理大量的有害氣體，包含SiH4, HCl, NH3和AsH3。我們具有很高的技術並為此設計安全自動供氣系統，以直觀的操作經驗設計搭配人機觸控螢幕，以便客戶簡便的操作。巨茂應材還提供多種配置以滿足客戶對大宗特殊氣體系統的需求，使設備更適用於先進的生產環境並滿足大量氣體供應的需求。
BSGS之規格
BSGS (Bulk Special Gas System) |
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尺寸(mm) |
1500X650X2200 |
電壓(V) |
110 |
頻率(Hz) |
60 |
相數(φ) |
1φ |
電流(Amp) |
1.3A |
大宗特殊氣體供應系統特色
- 客製化程式設計
- 參數可依據使用者需求開放調整
- ISO 9001認證、SEMI S2認證、TS安全標示與驗證合格標章
- 可一對多組Y鋼設計
- 提供溫度補償設計以降低鋼瓶殘氣
