Ecosys 尾氣處理系統

Ecosys 尾氣處理系統

Ecosys 減排產品系列涵蓋現代半導體幾乎所有需求
所有氣體種類；包括 PFC 和溫室氣體，減排效率超過 99%
可依照不同的排放氣體，選擇適配的機台與模組，以利您的使用

 M91 (燃燒-水洗) 

• 使用甲烷、氫氣等燃料

• 強而穩定的引燃火焰

• 可選擇 手動/自動油氣比例模式

M91A (等離子-水洗)

• 尾氣離子化處理模式

• 無須燃料

• CDA (清潔乾燥的空氣) / 氮氣或氬氣作為等離子氣體

• 適用於PFCs

M91P (等離子-水洗)

• 離子化火炬高溫處理模式

• 無須燃料

• CDA (清潔而乾燥的氣體) / 氮氣或氬氣作為等離子氣體

• 適用於易燃氣體

綜合式尾氣處理系統 (Marathon)

 通過一整套不同的減排技術為您提供最佳的「氣體處理解決方案」，將製程中「不可回收」的部分則經過減排設施，最大限度地降低對環境造成危害。