氣體閥箱
VMB-VMP
氣體閥箱 VMB/VMP
巨茂應材的氣體閥箱從一個單一氣體大流量供應，經過壓力及流量的調整後安全及持續的分佈出去；我們模組化設計的分配系統減少了很多死角的空間，最大化的、有效率的充吹殘氣。
設備之規格
VMB |
|
尺寸(mm) |
800X1400X400 |
電壓(V) |
110 |
頻率(Hz) |
60 |
相數(φ) |
1φ |
電流(Amp) |
1.3A |
氣體閥箱特色
- 客製化程式設計
- 參數可依據使用者需求開放調整
- ISO 9001認證、SEMI S2認證、TS安全標示與驗證合格標章
- 自行設計、生產及組裝
- 快速生產、交貨
