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巨茂應用材料股份有限公司(以下簡稱: 巨茂應材)代理多樣大宗氣體(Bulk gas)、特殊氣體(Special gas)、負壓鋼瓶氣體(Vacuum supply gas cylinder),可提供客戶作為IC半導體業、晶圓製造、面板製造生產或電子工業等高階氣體原料使用。

巨茂應材提供之大宗氣體(Bulk gas)有氬氣(Ar)、二氧化碳(Co2)、氦氣(He)等提拱給用氣量較大的客戶 :

  1.  ​二氧化碳( Co2)是空氣中常見的化合物,他在常壓下為無色、無臭、不助燃、不可燃的氣體。二氧化碳的固體狀態是乾冰。乾冰在室溫下會直接昇華為氣體。二氧化碳需加壓到5.1倍大氣壓力才會以液態存在。提供客戶多種供應方式:低溫儲槽5T~50T、35噸拖車、15噸槽車及多種容量小鋼瓶。

     

  2. 氬(Ar2)是一種無色無味的惰性氣體。在高濃度下,會使人窒息。氬是一種大氣氣體,一般通過分離空氣獲得。主要在焊接式作為獨立使用或特殊混合氣使用的惰性保護氣。我們提供液態罐175L、鋼瓶0.5L~67L 、儲槽10T~50T等供應方式。
     

  3. ​​​氦氣(He)是一種稀有氣體,為無色無味的惰性氣體,化學性質不活潑,一般狀態下很難和其他物質發生反應。氦氣在諸多工業領域都是不可或缺的。比如,在焊接中創建惰性氣體環境,熱處理及外延晶體生長;清洗半導體等。

     

除了以上大宗氣體,巨茂應材也代理多樣特殊氣體。特殊氣體基本上可分為惰性氣體、易燃性氣體及腐蝕性氣體,我們代理的特氣包刮SiH4、PH3、BF3、AsH3、 GeF4 、N2O 、DCS及TCS,氣體包材方式可依客戶需求提供多種容量鋼,針對大容量的氣體應用需求,巨茂應材也提供一系列的氣瓶櫃解決方案。其中,BF3、AsH3、 GeF4及PH3為巨茂應材代理之負壓鋼瓶氣體。

 

負壓鋼瓶原理:

半導體製程中,常會使用具有危害性及毒性的氣體,這些氣體通常都是藉由被壓縮或是液化等方式,以高密度的形態(例如高壓氣體鋼瓶)被運送。但因為高壓氣體的意外大量釋放,或是因為氣瓶本身洩漏而造成的危險氣體洩漏,可導致嚴重傷害或是死亡,所以對於那些具有高毒性或是危險性的氣體種類,以高壓鋼瓶儲存已不再是合宜的儲存及運送方式。

 

取而代之,使用具有奈米大小之孔洞的基材,得以用吸附或是鍵結等方式攜帶氣體分子,使鋼瓶內壓力得以減低,並且實際減低氣體意外洩漏的機會。應用這樣的新科技,並且將此類產品商品化,取其在危險氣體之儲存、運送上,具備更高度安全性。

 

負壓鋼瓶使用了稱為BrightBlack 的吸附材料,具備精密奈米級孔洞之碳材。當氣體分子遇到吸附材料時,會受到該固態材料的吸引、移入該材料的孔洞內並且固著在其中。考量到不同種類的氣體分子具有不同體積的特性,經精密計算後BrightBlack碳材,具備最佳化處理之孔洞大小及材質密度,因此對不同的危險氣體分子,皆能達到最理想的物理吸附程度。

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