BSGS
BSGS-CN
大宗特殊气体供应系统
BSGS (Bulk Special Gas System)
巨茂应材的大宗特殊气体供应系统，专门处理大量的有害气体，包含SiH4, HCl, NH3和AsH3。我们具有很高的技术并为此设计安全自动供气系统，以直观的操作经验设计搭配人机触控萤幕，以便客户简便的操作。巨茂应材还提供多种配置以满足客户对大宗特殊气体系统的需求，使设备更适用于先进的生产环境并满足大量气体供应的需求。
BSGS之规格
BSGS(Bulk Special Gas System) |
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尺寸(mm) |
1500X650X2200 |
电压(V) |
110 |
频率(Hz) |
60 |
相数(φ) |
1φ |
电流(Amp) |
1.3A |
大宗特殊气体供应系统特色
- 客制化程式设计 Customized program
- 参数可依据使用者需求开放调整 Adjustable parameter
- ISO 9001认证丶SEMI S2认证丶TS安全标示与验证合格标章 ISO 9001 Quality management systems
- 可一对多组Y钢设计 Design one-to-many Y-Cylinder
- 提供温度补偿设计以降低钢瓶残气
