操作经验

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操作经验

巨茂团队人员持续累计半导体厂操作的实战经历；不间断创新技术，期待与半导体产业日新月异并驾齐驱，将贡献累积的所有里程碑实践在未来承接的每个系统案件中。

发生状况

可能原因

应变措施

真空度不足
  1. AV9排放管路气动阀没有开启
  2. 提供真空产生器G-N2压力不足或流量不足
  3. AV6气动阀没有作动
  1. 确认排气管路没有被隔离
  2. 确认G-N2供气压力为70~90Psi且流量达到45~55SLPM
  3. 确认4.5kg之I.A供应气动阀

系统关闭
  1. 电力失效
  2. 设备短路
  1. 检查电力系统是否供应110V60Hz至设备端丶电力供应线路松脱
  2. 检查施工时导电物质是否掉入控制箱导致线路短路

P-N2压力不足
  1. 调压阀尚未调整至需求压力
  2. 压力传输器输出飘移
  3. N2钢瓶供应压不足
  4. V1N手动阀未开启
  5. N2钢瓶阀未开启
  1. 将调压阀压力调至75~95 psi之供应压
  2. 检查压力传输器输出输入是否正常，若小飘移可藉由设备之程式作零点的校正
  3. 检测钢瓶供应压是否足够
  4. 检查V1N吹净气体供给手动隔离阀是否开启
  5. 检查N2钢瓶阀是否开启

气动阀无法开启
  1. I.A驱动压力不足
  2. 气动阀与电磁阀对应有误
  1. 确认4.5kg之I.A供应气动阀
  2. 检查气动阀与电磁阀对应点是否正确

钢瓶接头泄漏
  1. 制程气体钢瓶阀与钢瓶接头连接部分太紧或太松
  2. 钢瓶接头中之垫片放置位置不正确
  3. 制程气体钢瓶阀与钢瓶接头没有调整至适当位置就连接锁紧
  4. 钢瓶阀或钢瓶接头有受损
  1. 以扭力板手锁紧钢瓶接头最大施力为35 lb.ft
  2. 确实将垫片放置适当位置
  3. 连接Pigtali之钢瓶接头与钢瓶阀口（以手可轻松旋入为原则）
  4. 检查钢瓶阀或钢瓶接头是否有受损的现象

二次侧供应压力不足
  1. 调压阀尚未调至需求压力
  2. 一次侧供应压力不足
  3. 液态气体饱和蒸发温度过低
  1. 将调压阀压力调至制程所需之供应压
  2. 检查钢瓶出口端至二次侧入口端是否被隔离
  3. 需考虑将钢瓶至供应管路端作加温动作

二次侧供应压力过高
  1. 调压阀输出压力调的太高
  2. 调压阀内漏
  1. 将调压阀放松，将过高之压力缓缓从VENT管路排除，再将调压阀调整至制程所需之供应压
  2. 检查调压阀输出压力是否有渐渐上升之现象，若有则需立即停止供气。因压力持续的上升可能会导致阀件以及其他零件的受损，造成设备的损坏与人员的伤亡

设备当机
  1. PLC与人机界面通讯中断
  2. PLC程式失去记忆
  1. 确认PLC与人机界面之连接线是否有松脱现象丶或是通讯卡故障
  2. PLC内部电池没电故记忆消失（此为少见之案例）若是发生则更换新电池重灌入程式

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