操作經驗

experience

  巨茂設計人員具有半導體廠操作經驗10年以上,我們也沒有因此停下腳步;巨茂不斷的追求技術,趕上半導體的日新月異,將累積的所有經驗實用在未來接觸的每個案件中。

發生狀況

可能原因

應變措施

真空度不足

  1. AV9排放管路氣動閥沒有開啟
  2. 提供真空產生器G-N2壓力不足或流量不足
  3. AV6氣動閥沒有作動
  1. 確認排氣管路沒有被隔離
  2. 確認G-N2供氣壓力為70~90Psi且流量達到45~55SLPM
  3. 確認4.5kg之I.A供應氣動閥

系統關閉

  1. 電力失效
  2. 設備短路
  1. 檢查電力系統是否供應110V60Hz至設備端、電力供應線路鬆脫
  2. 檢查施工時導電物質是否掉入控制箱導致線路短路

P-N2壓力不足

  1. 調壓閥尚未調整至需求壓力
  2. 壓力傳輸器輸出飄移
  3. N2鋼瓶供應壓不足
  4. V1N手動閥未開啟
  5. N2鋼瓶閥未開啟
  1. 將調壓閥壓力調至75~95 psi之供應壓
  2. 檢查壓力傳輸器輸出輸入是否正常,若小飄移可藉由設備之程式作零點的校正
  3. 檢測鋼瓶供應壓是否足夠
  4. 檢查V1N吹淨氣體供給手動隔離閥是否開啟
  5. 檢查N2鋼瓶閥是否開啟

氣動閥無法開啟

  1. I.A驅動壓力不足
  2. 氣動閥與電磁閥對應有誤
  1. 確認4.5kg之I.A供應氣動閥
  2. 檢查氣動閥與電磁閥對應點是否正確

鋼瓶接頭洩漏

  1. 製程氣體鋼瓶閥與鋼瓶接頭連接部分太緊或太鬆
  2. 鋼瓶接頭中之墊片放置位置不正確
  3. 製程氣體鋼瓶閥與鋼瓶接頭沒有調整至適當位置就連接鎖緊
  4. 鋼瓶閥或鋼瓶接頭有受損
  1. 以扭力板手鎖緊鋼瓶接頭最大施力為35 lb.ft
  2. 確實將墊片放置適當位置
  3. 連接Pigtali之鋼瓶接頭與鋼瓶閥口(以手可輕鬆旋入為原則)
  4. 檢查鋼瓶閥或鋼瓶接頭是否有受損的現象

二次側供應壓力不足

  1. 調壓閥尚未調至需求壓力
  2. 一次側供應壓力不足
  3. 液態氣體飽和蒸發溫度過低
  1. 將調壓閥壓力調至製程所需之供應壓
  2. 檢查鋼瓶出口端至二次側入口端是否被隔離
  3. 需考慮將鋼瓶至供應管路端作加溫動作

二次側供應壓力過高

  1. 調壓閥輸出壓力調的太高
  2. 調壓閥內漏
  1. 將調壓閥放鬆,將過高之壓力緩緩從VENT管路排除,再將調壓閥調整至製程所需之供應壓
  2. 檢查調壓閥輸出壓力是否有漸漸上升之現象,若有則需立即停止供氣。因壓力持續的上升可能會導致閥件以及其他零件的受損,造成設備的損壞與人員的傷亡

設備當機

  1. PLC與人機界面通訊中斷
  2. PLC程式失去記憶
  1. 確認PLC與人機界面之連接線是否有鬆脫現象、或是通訊卡故障
  2. PLC內部電池沒電故記憶消失(此為少見之案例)若是發生則更換新電池重灌入程式

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