工程實績

2025年

美光 AATT  Hook up_BG
MTB Gas Boxes Requirement for C4F8 & 5%H2/Ar
MTB LB1 AN2 Expansion_Gas System
MTB L40 GN2 Sub-main新增擴充

2024年

台積電 盤面修改(新增LPI.LPV閥)
Semi GC Controller更換/氣櫃PLC升級
Pumping Line保養清潔

2024年

美光 F11A DCS加熱備品請購案
F11 GCS  GO2主管路管路供應改善
MTB HBM  Expansion_Gas System
 FY25氣體系統年度保養及校正

2024年

南亞科技9-3 1B 21K 特殊氣體供應系統 擴建工程

TSV機台電化學偵測器Hook up工程

2023年

茂矽 供氣設備電控頭汰換專案
SiF4 & C5F8氣櫃新設工程

2023年

美光F11 Special gas VMB
F11utility工程
F11 B/C BSGS 人機遠端控制

2022年03月

合肥晶合N3廠 特殊氣體系統新建廠案(供應設備/材料-美金)

2021年12月

元隆氣體系統二次配管工程

2021年11月

元隆氣體系統預置工程

2021年11月

世界先進FAB3 Hook Up配管工程-3rd

2021年11月

南亞科9-2R3 Special gas擴建案

2021年10月

友達Controller汰換工程

2021年09月

美光F11C BKM HF21 Vapor improvement

2021年09月

美麗微SiH4供應系統擴建工程

2021年08月

世界先進FAB3 Specialty gas&Bulk gas擴建工程-3rd

2021年07月

世界先進FAB3 Hook Up配管工程-2nd

2021年06月

元隆機台二次配管工程

2021年06月

世界先進FAB3 Special gas&Bulk gas 擴建工程-2nd

2021年05月

美光F11 Special gas 擴建案(TGM)

2021年05月

茂矽氣瓶櫃改善案

2021年03月

世界先進FAB3 Hook Up 配管工程-1st

2021年02月

世界先進FAB3 Special gas &Bulk gas 擴建工程-1st

2021年02月

大陸合肥晶合N2 Special gas&Bulk gas 擴建案

2020年07月

美光F16 A1+A2腐蝕性氣體閥件更換工程

2020年06月

南亞科9-2R Special gas 擴建案

2020年05月

美光SIH4/NF3 BSGS改善案

2020年03月

力積電Controller汰換工程

2020年03月

美光Controller汰換工程

2020年02月

美光HF系統改善案

2020年01月

三化電子氣瓶櫃改善案

2019年12月

環球晶圓特氣系統擴建案

2019年08月

世界先進Controller 汰換工程

2019年05月

力積電Controller 汰換工程

2019年04月

旺宏氣瓶櫃改善案

2019年03月

美光F11 A.B.C Special gas&Bulk gas擴建案(120S)

2019年03月

長生CH4設備特氣供應系統&Hook Up工程

2019年01月

大陸合肥銅製程特氣系統擴建案                    

2019年01月

美光特氣系統合約案

2018年02月

世界先進VMB新增

2017年04月

合肥長鑫特氣設備

2017年04月

長生太陽能特氣系統建案

2016年03月

南亞科技3A-N廠 偵測器系統新建案

2016年02月

中美矽晶SiH4氣櫃盤面更換

2015年12月

華亞科技機台化學品供應設備(Pump cart)

2015年12月

華信光電GN2系統擴充工程

2015年11月

長生能源化學供應系統管路修改工程

2015年10月

華信光電毒性氣體偵測器校正合約

2015年09月

太極氣體設備改善工程

2015年06月

Fujimi Slurry lineB擴建工程

2015年03月

力晶特氣設備改善工程

2014年11月

世界先進氣體設備控制器(Controller)更換

2014年10月

南亞科偵測器校正保養合約

2014年8月

凌巨氣瓶櫃維修保養合約

2012年06月

南亞科半導體先進製程(20nm)設備訂單

2012年11月

南亞科COSMOS氣體偵測器校正保養合約

2012年11月

中油氣體偵測器工程保養合約