大宗特殊氣體供應系統

BULK-SPECIAL-GAS-SYSTEM

BSGS (Bulk Special Gas System)

  巨茂大宗特殊氣體專為處理大量的有害氣體,包含SiH4, HCl, NH3和AsH3。我們具有很高的技術並為此設計安全自動供氣系統,以直觀的操作經驗設計搭配人機觸控螢幕,以便客戶簡便的操作。巨茂還提供多種配置以滿足客戶對大宗特殊氣體系統的需求,使設備更適用於先進的生產環境和大量氣體供應的需求。

 


 

BSGS(Bulk Special Gas System)

尺寸(mm)

1500X650X2200

電壓(V)

110

頻率(Hz)

60

相數(φ)

電流(Amp)

1.3A
  •  客製化程式設計 Customized program
  •  參數可依據使用者需求開放調整 Adjustable parameter
  •  ISO 9001認證、SEMI S2認證、TS安全標示與驗證合格標章 ISO 9001 Quality management systems
  •  可一對多組Y鋼設計 Design one-to-many Y-Cylinder
  •  提供溫度補償設計以降低鋼瓶殘氣

公司資訊 INFORMATION

  • 33855桃園市蘆竹區南崁路二段66號6F之一
  • 03-212-4688
  • 03-212-4666