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新制程CO2的大量需求

ASML已经通过验证并出货6台极紫外光(EUV)微影扫描机,且已在多个客户的晶圆厂中完成系统曝光,并展现出稳定的良好效能。

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发光二极体(Light-emitting diode:LED)NH3的大量需求

LED现已产业化生产,台湾生产的LED已大量进入全球市场,近期因中国为打破专利垄断,成立了照明工作领导办公室,中国将在2006年全面推广半导体照明,届时对NH3的需求将猛增。

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